頂立科技立式化學氣相沉積爐(碳化硅) 

概述:立式化學氣相沉積爐可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
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2022-11-07 16:43:15 點擊64407次
服務區域:
全國
聯系電話:
18874256050
信用:4.0  隱性收費:4.0
描述:4.0  產品質量:4.0
物流:4.0  服務態度:4.0
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技術特征

采用先進的控制技術,能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍;

采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強; 

對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理;

采用最新設計防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率極低。




立式化學氣相沉積爐(碳化硅)配置選擇

爐門:絲杠升降/液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊  

爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈/CFC   

加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產 

熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/B分度號  

記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產


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