頂立科技臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭) 

概述:化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)可用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8等)為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。
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2022-11-07 16:43:06 點(diǎn)擊60460次
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服務(wù)區(qū)域:
全國
聯(lián)系電話:
18874256050
信用:4.0  隱性收費(fèi):4.0
描述:4.0  產(chǎn)品質(zhì)量:4.0
物流:4.0  服務(wù)態(tài)度:4.0
默認(rèn)4分 我要打分
臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)技術(shù)特征

可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)尺寸,能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求;

采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;

采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理。


臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號 HCVD-060609-C HCVD-080812-C HCVD-101015-C HCVD-121225-C HCVD-151530-C
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm) 600×600×900 800×800×1200 1000×1000×1500 1200×1200×2500 1500×1500×3000
最高溫度(℃) 1500 1500 1500 1500 1500
溫度均勻性(℃) ±7.5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10
極限真空度(Pa) 50 50 50 50 50
壓升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。


臥式化學(xué)氣相沉積爐(沉積炭)配置選擇

爐門:鉸鏈回轉(zhuǎn)式/臺車平移式;手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊      

爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽:軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC   

加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計(jì);手動(dòng)閥/自動(dòng)閥;進(jìn)口/國產(chǎn)    

真空泵和真空計(jì):進(jìn)口/國產(chǎn) 

人機(jī)界面:模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)     

PLC:歐姆龍/西門子

控溫儀表:日本島電/英國歐陸   

熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進(jìn)口/國產(chǎn)   

電器元件:正泰/施耐德/西門子

料車:滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車


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