1~3軸氣浮平移臺 

概述:我公司的氣浮平移臺產品,一般采用直線電機、光柵尺配合氣浮導軌的方法,分辨率好于200nm,精度等同于光柵精度。 也可提供雙頻激光反饋控制,穩定精度可達20nm,有成功案例。 采取隔塵措施后,可應用于高
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我公司的氣浮平移臺產品,一般采用直線電機、光柵尺配合氣浮導軌的方法,分辨率好于200nm,精度等同于光柵精度。
也可提供雙頻激光反饋控制,穩定精度可達20nm,有成功案例。
采取隔塵措施后,可應用于高精度生產場合
可提供超長行程單軸工作臺
也可采用音圈電機、高精度絲杠配合我們獨創的5自由度氣浮聯軸器,驅動工作臺。
平移臺可以安裝氣浮主軸和氣浮轉臺。
1~3軸氣浮平移臺
[本信息來自于今日推薦網]
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