超高精度影像測(cè)量?jī)xVIEW Precis 200 

全新的Precis 200 是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測(cè)系統(tǒng)開發(fā)而來(lái)，集成了VIEW最先進(jìn)的設(shè)計(jì)和技術(shù)。新的PRECIS包括許多可配置的選項(xiàng)，使該系統(tǒng)更加通用、實(shí)用和可靠：

擴(kuò)展Z軸范圍-2.5mm，5mm或100 mm.

透射照明

完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標(biāo)準(zhǔn)。

符合人體工程學(xué)的操作員控制臺(tái) ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器,符合SEMI S8

全自動(dòng)程序控制顯微鏡頭

兆像素分辨率攝像頭

VIEW Metrology Software (VMS™) 可以測(cè)量的零件類型很廣泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差判定。

MMWin – Wafer和Mask測(cè)量軟件 –晶圓的重要尺寸和迭置重合測(cè)量, slider ABS,光掩模和平板顯示器。