外延石英鐘罩清洗機(jī)
概述：外延石英鐘罩清洗機(jī) 適用于LPE外延爐PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗；適用于半導(dǎo)體材料行業(yè)；手動(dòng)、自動(dòng)控制模式； 適用對(duì)象參數(shù)為
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外延石英鐘罩清洗機(jī)
適用于LPE外延爐PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗；適用于半導(dǎo)體材料行業(yè)；手動(dòng)、自動(dòng)控制模式；
適用對(duì)象參數(shù)為9010mm*1170mm的1 件/ Batch；471mm*155mm數(shù)量1 件/ Batch；1200mm* Φ417mm數(shù)量1 件/ Batch；900mm石英件數(shù)量1 件/ Batch；機(jī)臺(tái)封面為聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)；整體骨架表面噴涂處理 ；機(jī)臺(tái)視窗為透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) ；配有蝕刻液恒溫系統(tǒng)、 蝕刻液循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)、 二流體噴淋系統(tǒng)（CGB專利技術(shù)）、 全自動(dòng)烘干系統(tǒng)； 可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲(chǔ)存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲(chǔ)存建立管理； 全程自動(dòng)控制，工藝生產(chǎn)過(guò)程中不用人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性； 采用CGB專利技術(shù)，鐘罩靜止等待，通過(guò)二流體及噴淋助力裝置完成均勻蝕刻清洗；全自動(dòng)烘干系統(tǒng)；多級(jí)別用戶工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)；作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動(dòng)及被動(dòng)保護(hù)相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全； 客制化設(shè)計(jì)能力佳，高設(shè)計(jì)能力滿足客戶制程工藝需要；制程控制為PLC控制方式；全圖形化中文彩色人機(jī)界面（10.4彩屏）；設(shè)備制造北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）13911568117；
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適用于LPE外延爐PE2061（S）、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗；適用于半導(dǎo)體材料行業(yè)；手動(dòng)、自動(dòng)控制模式；
適用對(duì)象參數(shù)為9010mm*1170mm的1 件/ Batch；471mm*155mm數(shù)量1 件/ Batch；1200mm* Φ417mm數(shù)量1 件/ Batch；900mm石英件數(shù)量1 件/ Batch；機(jī)臺(tái)封面為聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm)；整體骨架表面噴涂處理 ；機(jī)臺(tái)視窗為透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm) ；配有蝕刻液恒溫系統(tǒng)、 蝕刻液循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)、 二流體噴淋系統(tǒng)（CGB專利技術(shù)）、 全自動(dòng)烘干系統(tǒng)； 可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲(chǔ)存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲(chǔ)存建立管理； 全程自動(dòng)控制，工藝生產(chǎn)過(guò)程中不用人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性； 采用CGB專利技術(shù)，鐘罩靜止等待，通過(guò)二流體及噴淋助力裝置完成均勻蝕刻清洗；全自動(dòng)烘干系統(tǒng)；多級(jí)別用戶工藝數(shù)據(jù)庫(kù)，可供用戶使用和存儲(chǔ)；作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動(dòng)及被動(dòng)保護(hù)相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全； 客制化設(shè)計(jì)能力佳，高設(shè)計(jì)能力滿足客戶制程工藝需要；制程控制為PLC控制方式；全圖形化中文彩色人機(jī)界面（10.4彩屏）；設(shè)備制造北京華林嘉業(yè)科技有限公司（CGB）13911568117；
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