半導(dǎo)體晶片內(nèi)部缺陷檢測系統(tǒng) 

概述:[中介]能光伏太陽能別墅安防監(jiān)控錄像報警防火視屏監(jiān)控裝置系統(tǒng) 隨著生活水平的提高,科技的不斷進(jìn)步,人們不僅對居住環(huán)境要求越來越高,而且對居住環(huán)境的安全系數(shù)也更加重視了。人們越來越重視自己的個人和財

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產(chǎn)品介紹

HS-phys-SimPLe半導(dǎo)體晶片內(nèi)部缺陷檢測系統(tǒng)是專門用于包括單晶硅、碳化硅、藍(lán)寶石等半導(dǎo)體晶片及晶環(huán)生產(chǎn)過程中以極高的分辨率探測晶片和晶環(huán)的內(nèi)部滑移線、內(nèi)部隱裂等內(nèi)部缺陷檢測的儀器

 

 

檢測原理是:HS-Phys-SimPLe系統(tǒng)是一種高分辨率光致發(fā)光(PL)掃描映射系統(tǒng),用于表征直徑高達(dá)400mm的半導(dǎo)體晶片。使用專門設(shè)計的高強(qiáng)度激光源來激發(fā)半導(dǎo)體材料中的少子載流子。

 

三種類型復(fù)合載體:SRH(Shockley-Read-Hall)深能級復(fù)合,Auger俄歇復(fù)合和Radiative輻射復(fù)合。在較低注入水平下,Auger俄歇復(fù)合可以忽略不計,因此“清潔”區(qū)域由輻射控制,而污染區(qū)域主要由SRH深能級復(fù)合控制。由于結(jié)晶滑移缺陷就像溶解污染的吸雜點,具有較低的輻射發(fā)射。因此可以通過PL技術(shù)將其可視化。

半導(dǎo)體晶片內(nèi)部缺陷檢測系統(tǒng)
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