ESC靜電卡盤電源 高品質射頻電源 

產品特點

1.電源寄存能量低，內置電流限制和保護電路設計使設備免受浪涌和電弧的損害。

2.通過輸出極性轉換，降低了夾盤上電荷的風險。

3.短路和開路設計增加了設備的可靠性。

4.突出的夾緊性能使本產品更適用于半導體晶片生產過程中。

應用對象

靜電卡盤電源可為半導體晶片轉移所使用的靜電夾盤提供穩定的功勞輸出。