伺服驅動系統
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比例閥采用閥芯閥體結構。伺服閥和伺服比例閥主要應用在閉環控制系統,比例閥的驅動裝置是比例電磁鐵。
伺服閥的驅動裝置是力馬達或力矩馬達.閥體兼作閥套。
驅動裝置不同.所以近些年出現了比例
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運動控制系統:四軸(雙Z軸機型為六軸) 全閉環控制:三軸交流伺服馬達全閉回路控制,預壓線性滑軌與研磨級滾珠螺桿驅動,步進馬達同軸控制鏡頭組(雙Z軸機型:影像系統伺服馬達控制, 探針系統伺服馬達
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